『壹』 如何降低單晶爐的拉晶成本
使用二次加料系統對單爐
裝料量
進行增加。還可以縮短拉晶時間,減少
能耗
,
坩堝
可以進行二次利用,這些都可以降低拉晶
成本
『貳』 單晶硅的生產工藝流程
單晶硅的生產工藝:1.石材加工一開始是石頭(所有石頭都含硅)。這塊石頭被加熱後變成了液態。加熱後變成氣態,氣體通過一個密封的大盒子。盒子里有N多個加熱的子晶體,兩端用石墨夾住。當氣體通過盒子時,子晶體會將其中一種氣體吸收到子晶體中,子晶體逐漸變厚。因為有些變成固體了,所以很慢,大概一個月。2.酸洗當然還有大量的廢氣等等。(四氯化硅)在生產過程中產生。現在看來是處理不好了。事不宜遲,等原生多晶體有了,就開始酸洗,氫氟酸,硝酸,醋酸等等。原生多晶體外的東西洗干凈後,會放入烘房烘乾,無塵檢驗,包裝。3.拉晶要拉晶,拉晶就是在拉晶爐里加熱熔化多晶硅。將晶體向上提拉後,工人們首先將多晶硅放入應時坩堝中。(為了降低成本,工廠還會用一些洗過的電池片和碎矽片一起熔化。)關爐加熱。應時鍋的熔點是1700度,硅的熔點只有1410度左右。硅熔化後,應時坩堝慢慢上升,晶體從上面下降到坩堝的中心液面。同時鍋底電加熱,液面冷卻,晶體指向液面會出現光點。慢慢旋轉,拉起,放肩,轉肩,正常拉桿,完成。大約一天半後,一根單晶棒就會出來。4.切割正方形當單晶棒可用時,切割正方形。單晶棒通常為6英寸,P型,電阻率為0.5-6歐姆(一英寸約等於2.4厘米)。把棒的四邊切掉,做成帶倒角的正方形,切片,每片0.22毫米。