Ⅰ PVD和CVD分別是什麼
PVD(Physical Vapor Deposition)---物理氣相沉積:指利用物理過程實現物質轉移,將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。
CVD是Chemical Vapor Deposition的簡稱,是指高溫下的氣相反應,例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。
PVD技術出現於,制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數、很好的耐磨性和化學穩定性等優點。最初在高速鋼刀具領域的成功應用引起了世界各國製造業的高度重視,人們在開發高性能、高可靠性塗層設備的同時,也在硬質合金、陶瓷類刀具中進行了更加深入的塗層應用研究。
與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響;薄膜內部應力狀態為壓應力,更適於對硬質合金精密復雜刀具的塗層;PVD工藝對環境無不利影響,符合現代綠色製造的發展方向。
當前PVD塗層技術已普遍應用於硬質合金立銑刀、鑽頭、階梯鑽、油孔鑽、鉸刀、絲錐、可轉位銑刀片、車刀片、異形刀具、焊接刀具等的塗層處理。
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CVD例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。
這種技術最初是作為塗層的手段而開發的,但不只應用於耐熱物質的塗層,而且應用於高純度金屬的精製、粉末合成、半導體薄膜等,是一個頗具特徵的技術領域。
其技術特徵在於:
⑴高熔點物質能夠在低溫下合成;
⑵析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;
⑶不僅可以在基片上進行塗層,而且可以在粉體表面塗層,等。特別是在低溫下可以合成高熔點物質,在節能方面做出了貢獻,作為一種新技術是大有前途的。